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IXION 193 SLM激光器的詳細資料：
IXION 193 SLM激光器是一款單頻全固態激光系統，應用于光學計量、193 nm步進光學校準或高功率ArF準分子的帶寬控制等領域。光譜帶寬接近其理論傅里葉極限。
該系統的中心波長可定制，范圍在185至194 nm之間，并可在訂購時配置為固定波長。
另外，系統還可以集成一臺絕對光譜精度為0.001 nm的高精度光譜儀。這使得對激光光譜調諧的控制具有最大的精度。
可選
圖形用戶界面
LabView庫
精密光譜儀
中心波長:185 ~ 194 nm
符合CDRH的快門
IXION 193 SLM 激光器應用
193 nm 計量
光譜儀校準
干涉度量
準分子種子源
IXION 193 SLM
| 波長 | 193.368 nm |
| 平均功率 | 10 mW |
| 脈寬 | typ.8~2ns |
| 脈沖能量 | 1.6 µJ |
| 重頻 | 1~15 kHz |
| 光束質量 | M2 < 1.6 |
| 光譜帶寬 | < 80 MHz |
| 光譜可調諧性 | > 10 pm |
| 相干長度 | > 2 m |
| 脈沖穩定性 | σ < 2.5 % |
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